プラズマ放出検出器（PED）：

1.検出器構造図

電離室材料は石英小池であり、石英小池の両端に高周波、高強度の電磁場を加え、キャリアガスはクロマトグラフィーカラムで分離された成分を携帯して石英池に入り、高圧、高強度の電磁場の作用の下で、キャリアガスと成分は一緒に電離され、プラズマを形成する。

異なる成分はプラズマ中で異なる波長の光放射を発し、濾光と光電変換を経てクロマトグラフィー信号を得、信号はガス標準物質成分の含有量に比例する。

2.検出器の原理

気体が高周波高強度電磁場を通過すると、気体は破壊放電される。放電は大量の電子とイオンを産生し、電場の作用の下で、電子は電場の中からエネルギーを得て、周囲の原子分子と衝突することによって、エネルギー伝達を産生して、それにイオン化を励起させて電子雪崩を産生させる。雪崩の中の高エネルギー電子の一部が導電性チャネルを通過すると、励起状態の原子分子の一部が自発的に放射される。私たちはこれらの放射線によって信号を得る。

3.検出器の特徴

1）感度が高い（PPb級）

2）実用性が高い（汎用性検出器）

3）安定性が高い（物質が直接電極に接触しない）

4）他の検出器の難点（ネオンの検出、酸素アルゴン分離）の解決

5）主ピーク遮蔽

技術指標

1.検出限界（ppb）：

2.温度制御パラメータ：

3.サイズ、重量、電源

システム構成：

（1）GC-9560ガスクロマトグラフ

（2）プラズマ放出検出器（PED）

（3）センタ切断システム

（4）多柱箱システム

（5）精製器

（6）標準ガス

（7）カラム

（8）キャリアガス専用減圧弁

（9）デッドボリューム専用サンプリングバルブ

（10）GC-9560V4.0バージョン逆制御クロマトグラフィーワークステーション

（11）VCRつぎて(オプション）

（12）O2Arぶんりシステム(オプション）

（13）電子ガスサンプリングシステム(オプション）、

適用可能であり、以下の国家基準に限定されない：

1）、高純ガス基準

GB/T3634.2-2011『純水素、高純水素及び超純水素』GB/T 14599-2008『純酸素、高純酸素及び超純酸素』

GB/T 8979-2008『純窒素、高純窒素及び超純窒素』GB/T 4842-2017『アルゴン』

GB/T 4844-2011『純ヘリウム、高純度ヘリウム及び超純度ヘリウム』GB/T 17873-2014『純ネオンと高純ネオン』

GB/T 5829-2006『クリプトンガス』GB/T 5828-2006『キセノン』

GB/T 33102-2016『純メタンと高純度メタン』

GB 1886 228-2016『食品国家基準 しょくひんてんかざい 液体二酸化炭素』

GB/T 23938-2009『高純度二酸化炭素』

GB/T28125.1-2011『空分工程における危険物質の測定』

2）、電子ガス標準

GB/T 16942『電子工業用ガス 水素』GB/T 16943-2009『電子工業用ガス ヘリウム』

GB/T 16944『電子工業用ガス 窒素』GB/T 16945-2009『電子工業用ガス アルゴン』

GB/T 14604『電子工業用ガス 酸素』GB/T 14600-2009『電子工業用ガス 酸化アルゴン窒素』

GB/T 14601『電子工業用ガス アンモニア』GB/T18867-2014『電子工業用ガス 六フッ化硫黄』

GB/T 15909『電子工業用ガス シラン』GB/T 21287-2007『電子工業用ガス 三フッ化窒素』

酸素アルゴン分離技術：

酸素アルゴンガスの性質が類似しているため、酸素アルゴン分離はクロマトグラフィー分離においてずっと難題であり、華愛クロマトグラフィーは長年の研究を経て新型分離システムを使用し、酸素アルゴンガスの*分離定量を実現した。